等离子发生器是使用的高能等离子体,吸附到固体表面,聚合物表面的有机分子链断裂,形成小分子、小分子链进一步打破,形成水和二氧化碳,最后让分子气化,残余分子产生一些极性基团,增加表面能。
它使用能量转换技术，附着力强的聚合物在一定的真空和负压下使用电能将气体转化为活性电极。高气体等离子，气体等离子轻柔地清洗固体样品表面，引起分子结构变化，实现对样品表面有机污染物的超清洗，有机污染物被外界完全去除。短时间。清洗可以达到分子水平。在一定条件下，样品的表面性质也可以改变。由于使用气体作为清洗介质，可以有效避免样品的二次污染。等离子清洁剂现在广泛用于光学、光电子学、电子学、材料科学、聚合物、生物医学、微流体等。
低温等离子体是由等离子体的辉光放电产生的。等离子体中粒子的能量一般为几至几十电子伏特，附着力强的聚合物高于结合能。聚合物材料（从 10 到 10 电子伏特）能够完全破坏大的有机颗粒。分子的化学键形成新的键，但远低于高能放射线，只包含材料的表面。它不影响矩阵的性能。在非热力学平衡的冷等离子体中，电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（比热等离子体大）。
近期，油漆那种固化方法附着力强GLOBALFOUNDRIES 接二连三的蓬勃发展，GLOBALFOUNDRIES 诞生，与新加坡特许公司合并，三星、英特尔等公司也涉足代工领域。。表面处理需要在处理过程中对许多半导体材料进行清洗和蚀刻，以确保产品质量。因此，在半导体行业，低温等离子清洗技术和半导体真空低温等离子清洗应用越来越受到关注。冷等离子清洗是半导体封装制造行业常用的化学形式。
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