四、有机半导体材料——等离子体的活化和改性,泉州半导体清洗设备定制提高迁移率 目前,有机半导体材料主要分为小分子。和聚合物。从沟道载流子来看,有机半导体可分为P型半导体和N型半导体。 P型半导体中的多数载流子是空穴,N型半导体中的多数载流子是电子。除了所需的稳定性外,P型半导体还必须满足以下要求: (1) HOMO能级高,与电极形成欧姆接触,空穴能顺利注入。 (2)具有较强的电子捐赠人才。
常见的材料包括稠环芳烃,半导体清洗设备例如 PENTACENE 和 RUBRENE,以及聚合物,例如聚 (3-己基噻吩) (P3HT),它们可以通过等离子体处理激活和改性有机半导体。同时,等离子体改性绝缘层的表面有助于使有机材料的沉积更加均匀平整,大大提高了器件的迁移率,提高了器件的性能。半导体的作用很大,可以大大提高材料的性能。。用等离子火焰处理器清洗后,不易在材料表面形成损伤层。
然而,半导体清洁设备半导体制造工艺通常将蚀刻和清洗这两个工作步骤分开,并且不共享同一设备组。为了避免因物理冲击对元器件成型电路造成意外损坏,等离子清洗机的主流正在逐渐采用微波等离子清洗机(可百度搜索)。优点是表面电子能量比射频能量小两个数量级,使其对目标无破坏性。。
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