等离子清洗设备的机理是，流动剂对附着力影响的原因在真空泵情况下，工作压力更加小，分子间距越来越大，分子间距更加小，运用频射源产生的高压交变电场将氧、氩、氢等工艺气体振动成高反应活性和高能离子，与有机污染物和微粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，工作气体流动和真空泵去除这些挥发性物质，实现表面层清洁活化的目的。
所以太阳并非是固体或许液体或许气体，流动剂对附着力影响它是一种等离子体，它与气体有着相似之处，如没有清晰的形状和体积，可是具有流动性。等离子是带电粒子和中性粒子的集合体，所以它本身就有许多的原子。
等离子体清洗/蚀刻技术是针对等离子体特定性质的具体应用:等离子体清洗/蚀刻机生产的等离子体装置是设置在一个密闭容器内，流动剂对附着力影响两个电极形成电场，用真空泵达到一定的真空度，随着气体越来越薄，分子之间的距离和自由流动的分子或离子之间的距离也越来越长,电场,它们碰撞,形成等离子体,这些离子的活性非常高,它的能量就足以破坏几乎所有的化学键,使化学反应在任何暴露的表面,不同的气体等离子体具有不同的化学性质，如氧等离子体具有高氧化性，可以氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果;腐蚀性气体等离子体具有良好的各向异性，因此可以满足腐蚀的需要。
所以太阳并非是固体或者液体或者气体，流动剂对附着力影响的原因它是一种等离子体，它与气体有着相似之处，如没有明确的形状和体积，但是具有流动性。等离子是带电粒子和中性粒子的集合体，所以它本身就有大量的原子。
