(3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，铝箔附着力好的树脂气体被破坏，由于辉光放电而发生电离和等离子体形成。真空室内产生的等离子完全吹到物体表面开始清洗。清洁过程通常持续几十秒到几分钟。 (4)清洗后，切断高频电压，放出气体使污物蒸发，同时向真空室内吹气，使气压升至大气压。等离子清洗相对于湿法清洗的优点是： (1)清洗后，待清洗物完全干燥，无需进一步干燥即可送入下道工序。
狭义上讲，铝箔附着力好的树脂等离子体就是全部或部分被电离的气体，是电子、离子、原子和分子，或自由基等粒子组成的集合体;广义上讲，等离子体是由大量带正电的粒子和带负电的粒子，以及一些中性原子、分子和其他粒子所组成的，在宏观上呈电中性的物质聚集态。这种包含原子、分子、电子、离子、光子、各种亚稳态和激发态粒子的混合气体即为等离子体，等离子体又被称为继固态、液态和气态之后的物质的第4态或称等离子态，是独特的导电流体。
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，涂炭铝箔附着力检测方法用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任(何)暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效(果)；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。
低温等离子体射频电感耦合等离子体(ICP)等离子体源的早期研究始于20世纪初汤姆森和汤森，涂炭铝箔附着力检测方法以及伍德的开创性工作，但当时的工作压力还在几百帕，等离子体产生规模还很窄，无法广泛应用。直到最近10年，低压、高密度、大直径的ICP等离子体源仅用于生产[9,10等离子体表面处理器]。它是目前流行...