这说明体系中CO2的浓度是C2H6氧化脱氢过程中的一个重要参数。如果CO2浓度过低，反应离子刻蚀的特点C2H6的转化率低，容易生成高碳烃。如果CO2浓度过高，C2H6会发生氧化反应，导致C2H4和C2H2的选择性降低。因此，最好添加50%左右的CO2。。目前，低温等离子体主要通过气体放电产生。
由表3-4可以看出，反应离子刻蚀的特点随着CO2加入量的增加，C2H4和C2H2的选择性单调降低。因此，虽然乙烷的转化率随着CO2加入量的增加而增加，但C2H4和C2H2的总收率呈峰状变化。当CO2量为50%时出现极值。另一方面，活性氧会进一步与乙烯或乙炔发生反应，导致C-H键断裂，形成CO或积碳，特别是当CO2加入量较大时。因此，当CO2的量大于50%时，C2H4和C2H2的总收率降低。
也就是说，深反应离子刻蚀工艺流程等离子体产生的高能电子与CH4和CO2分子以弹性或非弹性的方式碰撞，导致CH和CHx (x=1 ~ 3)自由基连续c-H断裂。CO2产生C-0键断裂，生成活性氧，活性氧与CH4或甲基自由基反应生成更多CHx(x= 1-3)自由基。原料气中CO2浓度越高，活性氧越多，CH转化率越高，因此，CH转化率与高能电子数和活性氧浓度有关。
设备成本低，深反应离子刻蚀工艺流程清洗工艺不需要使用昂贵的有机溶剂，因此其运行成本低于传统的清洗工艺。(6)由于清洗液不需要运输、储存、排放等处理措施，(7)等离子体清洗最大的技术特点是:它不处理物体，可以处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物或高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)均可经等离子体很好地处理，因此，特别适用于耐热性和耐溶剂性的基材。
深反应离子刻蚀工艺流程
