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无机气体被激发成等离子态,特氟龙去胶机器气相物质吸附在固体表面,吸附的基团与固体表面分子反应形成产物分子,产物分子分解形成气相,反应残渣从表面脱落。等离子清洗技术的最大特点是无论被处理的基材类型如何,都可以进行处理。金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料,如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、多氯乙烷、环氧树脂,甚至特氟龙等,都经过适当处理,可用于整体和部分清洁以及复杂结构。

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