因此，电晕机正常启动当真空电晕启动时，真空室内部呈暗红色，说明真空电晕正在反应。在相同的放电环境下，氢气和氮气产生的电晕颜色都是红色的，但氩电晕的亮度会低于氮气，高于氢气，更好区分。在去除晶圆、玻璃等产品表面颗粒的过程中，通常采用电晕轰击材料表面颗粒，使颗粒分散、疏松，再进行离心清洗等处理过程，效果会非常显著。在半导体封装应用中尤为突出。
射频电晕原理；在真空室内，电晕机正常工作时自己停止的原因射频电源在一定压力下启动辉光产生高能无序电晕，等温轰击清洗产品表面，达到清洗的目的。主要是通过电晕作用于产品表面产生一系列物理化学变化，使其所含的活性粒子和高能射线与表面的有机污染物分子发生反应，碰撞形成挥发性小物质，从表面去除，达到清洗效果。电晕射频电晕的基本系统选择主要包括频率选择、腔体材料选择和真空泵选择。
随着气体越来越稀薄，电晕机正常启动分子之间的距离和分子或Guo的自由运动距离也越来越长。在磁场作用下，碰撞形成电晕，同时会产生辉光。电晕在电磁场中运动，轰击被处理物体表面，去除油渍和表面氧化物、灰分表面有机物等化学物质，达到表面处理、清洗、蚀刻的效果。通过电晕处理工艺可以实现选择性表面改性。真空电晕的工作过程；当样品放入反应室时，真空泵开始抽气到一定真空度，启动电源就产生电晕。
当我们使用电晕清洗器对这些数据进行处理时，电晕机正常启动发现在电晕活性粒子的作用下，数据的表面功能得到了显著改善，撕裂力也得到了很大的提高。分析结果后，我们发现主要有两个原因：（1）电晕的电晕放电会将苯酚的羟基(-OH)、羧基（-COOH）和羧酸的羰基(C=O)等亲水性基团引入外表面，增加数据外表面的润湿性，大大提高基体外表面的附着力和结合强度。
