低电子温度可以降低解离速率，电晕机火花大维修问题从而降低晶圆表面轰击能量、聚合物生产和真空紫外发射。低电子温度可以使离子能量峰的宽度变窄，使精确控制能量打击成为可能，从而提高选择性。此外，在电晕的电晕关闭时间内，新鲜气体可以改变电晕的均匀性。另外，同步冲孔可以通过off比调节活性基通量和子通量，从而影响蚀刻选择性比，影响程度与特定的蚀刻气体有很强的相关性。
在疏水表面处理技术中，电晕机火花大维修问题除氩气外，还要使用一些特殊的烯烃气体参与反应，在材料表面进行纳米涂膜，从而改变材料表面的组成和特性。这种纳米层的表面张力接近于零，经疏水处理后可明显提高表面印刷的均匀性。。常压电晕这两种电晕技术都是直接电晕，主要分为两种方式，即空腔式和常压式，这两种电晕技术都是直接电晕。腔体辉光电晕的特点是需要一个封闭的腔体，电极建在真空腔体内。
离子碰撞加热了清洗后的物质，电晕机火花不均匀使其更容易反应；其效果不仅有较好的选择性、清洗率、均匀性，而且有较好的方向性。典型的电晕物理清洗工艺是氩电晕清洗。氩本身是惰性气体，电晕氩不与表面发生反应，而是通过离子轰击清洁表面。典型的电晕化学清洗工艺是氧电晕清洗。电晕产生的氧自由基非常活跃，容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性物质，从而去除表面污染物。
此前，电晕机火花不均匀对陶瓷端子绝缘性能较差的锑基座和单管座采用化学浸泡（RBS清洗剂）和超声波清洗。这些清洗方法用于陶瓷端子绝缘性能较差的锑基座和单管座的清洗。锑基陶瓷端子绝缘性能虽有一定提高，但使用时间短，陶瓷端子会反复出现漏电流过大的情况，说明清洗不彻底。采用这种方法，锑基座和单管座清洗频率过高，使用频率低，同时增加了使用成本，增加了环境污染。采用电晕清洗技术对目前陶瓷端子绝缘性能较差的锑基座和单管座...
