等离子体清洗机在光致抗蚀剂去除中的详细应用；等离子清洗剂的应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、静电消除、介电蚀刻、有机污染去除、晶圆减压等，静电喷涂粉附着力使用等离子清洗机，不仅能彻底去除光刻胶等有机物，还能活化增厚晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性，使晶圆表面更具黏附性。
这取决于离子和电子对产生等离子体的电场的极性变化作出反应所需的时间。由于电子比离子轻得多，静电喷涂粉附着力它们的反应速度更快。因此，放置在电子运动路径中的矩阵将被带负电荷，同时等待正离子到达。由于带负电荷的表面的静电吸引，正离子会加速向这个表面移动。通过碰撞，这些离子将能够从表面去除物质。氩是理想的使用这种方法稍微粗糙的表面。加速离子的能量可以通过设置等离子体的能量和压力来控制。
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