等离子清洗机是由真空发生系统、电子控制系统、等离子发生器、真空系统、机械等部件组成。可根据用户需要定制真空系统及真空系统。使用数控技术简单，真空溅射镀膜附着力自动化程度高。使用高精度的控制装置，时间精确控制，正确的等离子清洗不会对表面造成损伤，从而保证表面质量。因为清洗是在真空条件下进行的，所以不会对环境造成污染，对表面没有二次污染。。
高真空气动挡板阀(GDQ)：一般真空等离子清洗机在待机状态时，真空溅射镀膜附着力真空泵都会保持在真空状态，高真空气动挡板阀是用来接通或切断真空管路中的气流，使真空腔的抽真空启动和关闭。采用压缩空气作为高真空气动挡板的动力装置，稳定可靠，易于维护，广泛应用于真空等离子清洗机。电磁真空带充气阀(DDC)：电磁式真空充气阀用于真空泵随操作参数启动的真空等离子清洗机，属电磁阀类。
等离子体与固体表面的反应分为物理反应（离子冲击）和化学反应，真空溅射镀膜附着力差等离子体与固体表面的反应又分为物理反应（离子冲击）和化学反应。物理反应机理是活性颗粒与被清洗表面碰撞，污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反应机理是各种活性粒子与污染物反应产生挥发物。物质和挥发性物质被真空泵吸走。
将样品放入反应室，真空溅射镀膜附着力差真空泵开始将空气抽到一定真空度，电源开始产生等离子体。气体通过反应室中的等离子体进入反应室，与样品表面发生反应，产生挥发性副产物，被真空泵抽提。等离子体宏观上是电中性的:在正常情况下，...
