（7）自动化程度高；采用高精度控制装置，真空镀附着力检验时间控制精度很高；正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，确保清洗面不受二次污染。等离子体清洗机理由于等离子体中电子、离子、自由基等活性粒子的存在，容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。
2.等离子体由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子等组成，真空镀附着力和什么有关表面电中性，内部却具有很强的电学、化学和热学性质。3.真空等离子体清洗机产生的等离子体属于非平衡等离子体，气体温度远低于电子温度，电子质量可忽略不计；即便如此，电子温度也有几万度。这样，在等离子体产生和损耗的过程中，会通过碰撞、辐射和成键形成大量热量，一小部分被真空泵抽走，而大部分留在真空反应室内。
等离子体清洗/蚀刻机密封容器中的等离子体产生装置布置两个电极形成电场，真空镀附着力利用真空等离子体表面处理器的真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子的自由运动距离越来越长，在电场的作用下，它们碰撞形成等离子体，这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。
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