由于等离子体是一种具有很高能量和极高活性的物质，有机硅树脂对基材的附着力它对于任何有机材料等都具有良好的蚀刻作用，而且等离子制成是一种干法处理，没有污染，因而在最近几年被大量运用到印制板制造中来。
首先，有机硅树脂的附着力真空泵开始抽吸等离子清洗室中的空气，使等离子清洗室形成真空环境。随着气体越来越薄，分子间的力越来越小，分子与分子或离子自由运动之间的距离越来越长。然后打开氩气控制阀，将氩气充入等离子清洗室，直至氩气充满整个等离子清洗室。电极通电，氩气与电场碰撞形成等离子体分解的离子。氩等离子体产生的离子以足够的能量撞击芯片表面，与有机污染物和颗粒污染物发生反应或碰撞，形成挥发性物质。
, 原子, 分子, 电子: O2 + CF2 & RARR; O + OF + CO + COF + F + E + 等离子体中的自由基和阳离子是上述高分子有机材料(C, H, O, N) 它发生化学反应。孔壁。
等离子体中存在以下物质：；高速运动的电子；处于激发态的中性原子、分子和原子团（自由基）；电离原子和分子：分子解离反应过程中产生的紫外光；未反应的分子、原子等，有机硅树脂对基材的附着力但该物质整体上保持电中性。等离子清洗机就是利用等离子体中的活性粒子来对物体表面进行清洁。活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果。
有机硅树脂的附着力
