但是，硅片等离子体活化机如果影响等离子去胶剂的因素没有得到妥善处理，就会影响等离子去胶剂的表面贴合现象。等离子去胶剂的脱胶气体是O2。工作原理是将硅片置于真空反应系统中，通入少量O2和1500伏的高压，高频信号发生器形成高频信号，因此内部有强电场。管在正确的时间形成，使 O2 电离，形成氧离子，并且是氧原子、氧分子和电子的混合物的活（（化学）辉光柱）。
等离子体实验的要素复杂、可修改、难度大，硅片等离子表面清洗机器不是很准确，理论解释也很不完善。。使用等离子发生器清洁 PCB 板表面。根据等离子体发生器，多晶硅片具有极好的蚀刻效果。本实用新型根据被蚀刻部件的组成，实现了等离子发生器中的蚀刻功能，具有成本效益，操作方便，实现多功能的效果。等离子发生器脱胶是微细加工中的一个重要环节。经过电子束曝光和紫外线曝光等微纳米处理后，必须对光刻胶进行脱胶或涂底漆。
等离子清洗机的功能： 1.对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料和聚合物表面的有机污染物（石蜡、油、脱模剂、蛋白质等）进行超清洁。 2.更改某些材料表面的属性。 3.活化玻璃、塑料、陶瓷等材料的表面，硅片等离子表面清洗机器提高这些材料的附着力、相容性和润湿性。四。去除金属材料表面的氧化层。五。对要清洁的物体进行消毒和灭菌。等离子清洗机的优点： 1.彻底彻底去除表面的有机污染物。 2.清洗快捷，操作简单，使用成本和维护成本极低。
在 Kilby 发明集成电路五个月后，硅片等离子体活化机也就是...
