1、铝合金表面活化(镁铝合金表面碱性活化配方) 铝合金真空室常用于配置和选型,铝合金表面活化为什么呢?随着行业对等离子表面处理的要求逐渐提高,对加工晶圆和航空航天连接器等真空等离子设备的真空室材料以及工艺和加工环境的要求也越来越高。越高,选择铝制真空室材料的理由越重要。 1.铝型腔具有优良的物理特性:铝由于其低密度和高强度而优于优质钢。明亮的。 ...
2、涂膜附着力画圈法(碱性陶化后涂膜附着力差) 在氯气中加入BCl3和He对氮化钛剖面形状的影响可以看出,涂膜附着力画圈法虽然添加He可以带来更高的光阻选择比,但氮化钛蚀刻表面明显比添加BCl3.3倾斜。通常,在等离子体清洗机和其他干式蚀刻完成后,引入一个酸性或碱性湿式清洗步骤,以完全去除等离子体蚀刻在晶圆上形成的副产物,避免二次反应。冷等离子体...
3、蚀刻因子标准(碱性蚀刻因子标准) 阳离子通过静电作用促进蛋白质的粘附,碱性蚀刻因子标准阴离子和钙离子的结合促进细胞外基质的矿化。等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子打胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、icp、晶圆到橡胶涂层、icp、灰化活化和等离子表面...