多孔硅可以作为杂质吸收中心，杀螟硫磷的亲水性提高光载流子的寿命，并且具有较低的反射系数。然而，多孔硅具有结构松散不稳定、电阻高、表面复合率高等特点。低温等离子体对电池表面的高速粒子冲击，一方面可以使表面更加细致有序，同时也可以使表面结构更加稳定，减少复合中心的发生。由于磷的分散，光伏电池的表面和边缘不可避免地会混入磷。光生电子随着磷的分散由前向后流动，形成PN结短路，导致并联电阻下降。
光生电子会跟着磷的分散由正面流动到反面，磷的亲水性和憎水性构成 PN 结短路，然后导致并联电阻下降。并联电阻反映的是电池的漏电水平，它会影响太阳电池的开路电压，它的减小会使开路电压下降，但对短路电流根本没有影响。电池片外表还会构成 PSG（磷硅玻璃），PSG 易吸收空气中的水分，导致电流下降和功率衰减。低温等离子体能够通过粒子吹扫将多余分散的磷分化，然后到达去除 PSG 的意图。
化学镀镍磷制作埋嵌电阻工艺有以下六个主要工艺步骤：(1)使用传统的生产工艺方法制作出所需的线路图形；(2)使用等离子体蚀刻对基材表面进行粗化；(3)然后对使用钯活化的方法对基材表面活化；(4)进行贴干膜、曝光显影，磷的亲水性和憎水性把需要制作电阻的地方显影出来；(5)紧接着使用化学镀镍磷的方法进行埋嵌电阻的制作；(6)最后，退去干膜。通过实验研究可知，通过等离子处理的基材表面电阻层的结合力更好。
多孔硅能够作为吸杂中心，磷的亲水性和憎水性进步光生载流子寿命而且具有较低的反射系数。可是多孔硅结构松散不安稳，具有较高的电阻以及外表复合率。低温等离子体的高速粒子撞击在电池片外表，一方面能够将绒面处理得愈加详尽有序，另一方面也能够使 外表结构愈加安稳，减少了复合中心的发生。三．温性刻蚀光伏制备工艺中因为磷的分散，电池片外表及边缘会不可避免地掺入磷元素。
