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外层电子从核约束中释放出来,等离子什么意思变成自由电子,就像学生下课后跑到操场上随意玩耍一样,要么加热到足够高的温度,要么出于其他原因……电子离开原子核。这是一个称为“电离”的过程。这时物质就变成了由带正电的原子核和带负电的电子组成的均匀的“糊状物”,使人它被戏称为离子等离子体,之所以称为等离子体,是因为它几乎是电中性的,因为这些离子等离子体的正负电荷总量相等。

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图 1-2 电极附近形成的等离子体鞘 浮动衬底鞘:当等离子体插入洗车机的等离子体中时,等离子什么意思没有电流可以通过,带电粒子到达绝缘体表面。在表面上相互重新结合或返回等离子体区域。在等离子在子体中,电子速度快于重粒子的速度,因此在绝缘体表面积累了净负电荷。即,表面相对于等离子体区域具有负电位。 ..表面区域的负电位排斥随后向表面移动的电子并吸引正离子,直到绝缘体表面的负电位达到一定值,使离子和电子电流相等。

此时,等离子什么意思绝缘体的表面电位VF趋于稳定,VF与等离子体电位的差(VP-VF)保持恒定。这时,在绝缘体表面附近有一层空间电荷层,这个空间电荷层就是离子鞘层。由于等离子体中的绝缘体常被称为浮置基板,所以绝缘体的电位常被称为浮置电位。显然,杂散电位为负,在杂散衬底与等离子体的界面处形成了阳离子的空间电荷层。因此,所有绝缘体,包括放置在等离子体中的反应器壁,都会形成离子鞘(见图 1-3)。

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