等离子反应器结构针板反应器对CO2氧化CH4反应的影响：大气压脉冲电晕放电应用于 CH4 反应的 CO2 氧化。常用的反应器有针板式和线轴式。这两个反应器都使用不对称电极，等离子反应器燃料是什么放电特性取决于两个电极之间电场的不均匀分布。在高压电极附近产生局部高压电场以电离气体。它从高压电极延伸到接地电极附近。
在等离子硅片清洗机的大气压流动等离子反应器中，等离子反应器影响等离子能量密度的主要因素是原料气体的流量F和等离子注入输入P。原料气体的流速是影响反应体系中活性粒子密度和碰撞概率的主要因素之一，而这两者的动态协同效应就是能量密度Ed（kJ/mol）。 Ed = P / F (1-20)式中，Ed为能量密度（kJ/mol），P为等离子体输出量（kJ/s），F为原料气体的摩尔流量（mol）。 / 秒）。。
在流动等离子体反应器中，等离子反应器燃料是什么能量密度的增加意味着能量和高能电子数量的增加，从而促进方程式（3-26）到（3-29）的反应。活性物质的相对数量有所增加。 ..因此，等离子反应器的能量密度越高，C2H6和CO2的转化率就越高。同时，研究表明增加的能量密度不利于 C2H4 或 C2H2 的选择性。
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