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等离子熔覆技术的定义

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在较低的功率下,等离子熔覆机设备操作步骤洗涤薄膜的剪切强度增加。并且功率随着功率的增加而增加,达到峰值后强度逐渐减小。电感耦合等离子体蚀刻 (ICPE) 是化学反应和物理联系的综合表现。机制如下:在低压下,ICP射频电源输出到环形耦合电磁线圈,耦合电弧放电使混合蚀刻气体通过耦合电弧放电产生高密度等离子体。晶圆表面过渡,离子衬底图案化区域中的半导体器件键合断裂,蚀刻蒸气产生挥发物。这将蒸汽与板分离并将其从管中排出。

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