一般在电晕清洗中，薄膜电晕处理的原理活化气体可分为两类，一类是惰性气体电晕（如Ar2、N2等）；另一类是反应气体（如O2、H2等）的电晕。电晕产生的原理是：对一组电极施加射频电压（频率约为几十兆赫），电极之间形成高频交变电场。在交变电场的搅动下，区域内的气体产生电晕。活性电晕对被清洗物表面进行物理轰击和化学反应，使被清洗物表面物质变成颗粒和气态物质，抽真空排出，达到清洗目的。
电晕表面处理原理一般情况下，薄膜电晕处理的原理物质的三种状态为固体、液体和气体，电晕状态为物质的四种状态，是向气体中注入额外能量（电能）以达到一定条件而形成的一种电晕，即电中性电离气体。电晕加工技术主要采用电晕轰击加工工作台层，并与加工后的表层形成高活性化学键。高活性化学键更容易与其他物质反应形成稳定的化学键，从而提高粘附效果。具体来说，电晕处理后，表面张力增加，即达因值上升。
在线电晕主要结构包括：进料卸料机构、进料卸料通道、进料卸料前向系统、进料卸料传动系统、进料卸料机构、反应仓、设备主要结构及电气控制系统等。电晕：电晕是由正离子和电子密度近似相等的离子、电子、自由基分子、光子和中性粒子组成的电离气体，薄膜电晕处理的原理整体电中性。大气电晕清洗清洗原理：电晕清洗是利用电晕对样品表面进行处理，使样品表面污染物去除，使其表面活性提前。
此外，薄膜电晕处理的原理还可采用反向氧和氩氢的清洗顺序，易于氧化还原。1）氩气：氩气清洗的原理是物理轰击表面，氩气是一种有效的物理电晕清除剂气体，由于其原子大小，可以以非常大的能量撞击产物的表面。正氩离子会被负极板吸引，冲击力会去除表层的所有污渍。然后这种气态污染物会随泵排出。
简述薄膜电晕处理的原理
