1、表面活化剂的作用简介（干粉类型特种表面活化剂） 感应耦合等离子表面处理机放电原理及其特点是什么：感应耦合真空（低压）等离子表面处理机是随着半导体行业的工艺要求发展起来的，表面活化剂的作用简介主要的用途是在晶圆制造的光刻胶去除和刻蚀。严格意义上讲，等离子刻蚀已经属于另外的工艺设备范畴，今天我们来探讨一下感应耦合等离子表面处理机的放电原理、模型及其特...
