(C)新官能团的形成-化学作用例如如果将反应气体引入放电气体中，羧基具有亲水性还是疏水性活化材料外部是否会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃类、氨、羧基等，这些都是活性基团，可以显著提高材料的表面活性。电子与不同粒子在不同条件下的碰撞对新能源粒子的产生起着关键作用，促进了等离子体化学反应的发生。这包括半导体材料的等离子体刻蚀和等离子体增强化学气相沉积，以及一些环保应用。
三、等离子表面处理能够形成新的官能团：进行等离子表面处理时在放电气体中引入反应性气体，羧基具有亲水性会在活化的材料表面产生复杂的化学反应。在此过程中材料表面可以引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些新的官能团都是一些活性基团，能够明显提高材料表面的活性。等离子表面处理机的工作原理，主要是利用等离子体中的活性粒子进行“活化作用”，以达到去除材料表面污染物的处理效果。
与薄膜的甲基发生键合反应，羧基具有亲水性还是疏水性羟基羧基、羰基等极性基团的形成提高了薄膜的表面极性。对薄膜基材进行等离子处理，有效地改善了薄膜的表面性能，增加了表面的润湿张力，延缓了其衰减，显着提高了薄膜镀铝后铝层的粘合牢度。...此外，等离子等离子处理不存在电晕处理中存在的影响热封性能的背面电晕，并且薄膜受热较少，因此在处理过程中薄膜的物理和机械性能不会发生变化。从微观上看，气体对材料的渗透机理是分子扩散...
