反应性气体以化学反应为主，氢离子亲水性电离后自由基与表面污染物发生化学反应，生产易挥发物质被排走，达到清洗的目的，氢气主要利用其还原作用，与被清洗件表面污染物发生反应，典型的如金属表面的氧化物清洗，氢气作为放电气体参与反应则发生还原反应，材料表面的氧化物与放电产生的氢离子反应生成水。而氧气主要利用其氧化作用，典型的如清除零件表面的有机物等。
在电场加速度相同的条件下，羧基失去一个氢离子亲水性HBr/O2气体等离子体损伤深度为10nm。在没有HBr气体参与的情况下，在O2气体单独作用下，块体硅损伤层深度仅为2nm左右。因此，要解决体硅损伤问题，首先要降低加速氢离子的电场强度。当偏压从80V降低到60V时，在保持多晶硅栅侧壁形貌的前提下，块体硅损伤从8.5a降低到6.3a。
低温等离子体可以通过粒子吹扫将多余扩散的磷分解，羧基失去一个氢离子亲水性从而达到去除 PSG 的目的。 四、表面钝化 光伏电池制备过程中由于切割工序的存在，会在电池片表面形成悬挂键，悬挂键具有捕获光生载流子的作用，限制光电流的产生，是光伏电池较为严重的能量损失方式。低温等离子体可以电离氢气体，用氢离子来修补钝化电池片表面的悬挂键，使硅原子恢复到稳定结构。
由于玻璃表面和铝边粗糙易开，羧基失去一个氢离子亲水性耐久性差，影响产品的密封性能和安全性，我们改进了玻璃/铝复合材料，改进了玻璃表面的（活化）机理.在等离子机的帮助下非常重要。重要性。对于PU/铝合金界面、PU胶/玻璃界面、（活化）玻璃/聚氨酯胶等（活化）改性，低温氧等离子体改性后的润湿性也有所提高。等离子机经过适当处理后，在玻璃表面产生羟基、羧基等游离活性粒子，其能量增加，强酸性聚氨酯粘合剂与玻璃表面相互作用。
氢离子亲水性
