文献报道，氯化橡胶附着力SI-C键是外延缺陷的主要原因。碳原子由光刻胶和蚀刻气体产生，并在蚀刻过程中注入到体硅中。在等离子清洁器装置的等离子蚀刻过程中，碳与侧壁上的体硅或氯化硅反应形成SI-C键。因此，有必要寻找一种能够有效去除SI-C键的方法，以改善SIGe的外延缺陷。与低氢灰化工艺相比，高氢灰化工艺可以更有效地去除硅沟槽表面的SI-C键，达到改善SiGe外延缺陷的目的。
干式等离子清洗机清洗可以替代传统繁琐的化学溶剂绿色环保:因为近年来市场对质量的要求越来越高，氯化橡胶附着力同时对环保的要求越来越严格，大量的高密度的清洁行业在中国面临着严峻的挑战,可以说是一场新的革命,面对当前形势下,等离子体清洗干燥机代替氯化碳氢清洗剂,水基清洗剂和溶剂,因为溶剂毒性,水处理繁琐、清洗效果差且不易干燥、安全性差等缺点阻碍着国内清洗行业的发展。
想知道等离子清洗机的分类吗？首先，聚氨酯提高氯化橡胶附着力我们来看看等离子清洗机的配置。最基本的等离子清洗设备包含四个主要部件：激发电源、真空泵、真空室和反应气源。激励源是一种为气体排放提供能量的电源，可以使用多种频率。真空泵的主要作用是去除旋片机械泵和增压泵等副产品。真空室。反应气体转化为等离子体。反应性气体通常由单一气体如氩气、氧气、氢气、氮气、四氯化碳或两种气体的混合物组成。
