低温等离子体电源功率整流器不需要VCC来供给电路转换所需的瞬态电流，自动感应耦合等离子体刻蚀机电容相当于一小块电源。因此，电源和地端的寄生电感都被绕道掉了，在这一段时间内，寄生电感没有电流流过，因此也不存在感应电压。通常将两个或多个电容平行放置，以减小电容本身的串联电感，从而降低电容充放电回路的阻抗。注意：电容的放置，设备间隔，设备方式，电容选择。。
三、按等离子体所处的状态分类按等离子体所处状态进行分类，自动感应耦合等离子体刻蚀机可分为平衡等离子体和非平衡等离子体，平衡等离子体是气体压力较高，电子温度与气体温度大致相等的等离子体。比如常压状态下的电弧放电等离子体和高频感应等离子体。而非平衡等离子体是指低气压下或常压下，电子温度远远大于气体温度的等离子体。如低气压下DC辉光放电和高频感应辉光放电，大气压下DBD介质阻挡放电等产生的冷等离子体。。
一些实验测试表明，感应耦合等离子体刻蚀机改变真空等离子清洗机的一些参数，不仅可以满足上述刻蚀要求，而且还形成了氮化硅层的特定形态，即侧壁刻蚀斜率。。超低温10mm等离子加工装置的喷枪采用低温等离子冷弧放电技术，等离子束温度很低。低温等离子加工机适用于广泛的应用，例如等离子清洗、表面活化和粘合剂强化。这些特性可用于半导体封装工厂、微电子封装和组装、医疗和生命科学设备制造以及温度敏感应用。
8 真空等离子清洗机真空度过高，感应耦合等离子体刻蚀机系统自动停机，请检查故障，故障...
