（5）微波放电：微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能，薄膜涂层附着力怎么检测使之激发、电离以发生等离子体的一种气体放电形式。微波放电的电离度高，气体具有更高的活化程度，因而能在更低温度下获得和维持具有更高能量的等离子体，更适合对温度敏感材料如有机薄膜的处理，但设备造价较高。
同时，薄膜涂层漆膜附着力由于离子发散方向不同，侧壁角的一致性难以控制。因此，以前用于硅蚀刻的电感耦合等离子体(ICP)高密度等离子体设备逐渐应用于氮化硅侧壁的蚀刻。由于icp器件可以在低压区工作，离子的指向性好，散射小。同时，气体在腔内停留时间短，腐蚀均匀性好。另外，在蚀刻过程中采用了腔体预沉积功能，即在每个芯片蚀刻前，在腔体上沉积一层薄膜，蚀刻后将腔壁上的薄膜去除。保证了腔环境的一致性，大大提高了蚀刻过程的稳定性。
在真空等离子degel机反应室通过高频和微波能量的效果,氧离子电离,免费的氧原子O *,氧分子和电子混合等离子体,具有强大的氧化自由氧原子(约10 - 20%)的高频电压效应和光刻胶薄膜反应:o2 RarR; O * + O *,换个+ O * CO2 + H2O。
等离子体表面处理通过放电装置将电离的等离子体中的电子或离子打到承印物表面，薄膜涂层漆膜附着力一方面，可以打开材料的长分子链，出现高能基团；另一方面，经打击使薄膜表面出现细小的针孔，同时还可使表面杂质离解、重解。
薄膜涂层漆膜附着力
