具体来说，低温等离子生产在沉积完成后，将聚合物旋涂成多孔低 k，然后加热以使聚合物通过毛细作用渗透到小孔中，然后进行常规的图案化和金属化工艺。当进行和加热时，聚合物分解以释放低k电介质，从而重新形成多孔结构。另一方面，在IMEC中，-70℃低温下的超低温刻蚀基本不会形成碳耗尽层，含有C、H、O的反应副产物在侧壁上液化在超低温下形成low-k薄膜，渗透到碳的孔隙中，防止碳耗尽层的形成。等离子损伤。
..等离子清洗机具有可操作性好、效率高、表面清洁、无划痕等优点，低温等离子生产保证产品质量，不需要酸、碱、有机溶剂作为清洗原料，不污染环境。 .. -等离子清洗机的成熟度无可替代，无论是芯片源离子注入、晶圆镀膜，还是我们的低温等离子表面处理设备（氧化物、有机物、掩膜等超清洗和表面处理），这就是工艺。活化以提高晶片的表面渗透性。
等同于一般打印纸张与一般打印纸张实施粘合，衡阳低温等离子生产厂家产品质量更为稳固，完全彻底避免了脱胶难题。 根据低温等离子表面活化后，不但能够提升其对粘合剂的可接受性，不再依靠特殊粘合剂就能达到高质量粘合。与此同时提升了表层的铺展性能指标，避免汽泡等的形成。而更为关键的是通过常压等离子处理，能够让纸箱生产商以更低的成本费、更高的工作效率获得质量更为保障的高端新产品。。
