将高频率电压置于真空室的电极与接地装置之间，纳米粒子的表面包覆改性使气体被击穿，并经电弧放电后形成等离子化，形成等离子体。使被处理工件在真空室内所形成的等离子体完全覆盖并开始清洗操作，一般的清洗处理可持续数十秒至数十分钟。清洁结束后，断开电源，用真空泵吸气及气化污垢排出。等离子体刻蚀机的另一项功能是清洗完毕后，其表面已经完全干透。
等离子活化：大大提高表面润湿性能，表面包覆改性分为形成活性表面等离子清洗：去除灰尘和油污并清洁以去除静电等离子涂层：表面涂层的层处理提供功能性表面1）材料表面的蚀刻效果-物理效果等离子体中的大量离子、激发分子、自由基等活性粒子作用于固体样品的表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，而且使样品和样品的表面变得粗糙。它产生蚀刻效果，形成许多细小凹坑，增加特定表面。提高固体表面的润湿性。
等离子清洗技术在IC封装中通常在下面的几个环节引入：在芯片粘合与引线键合前，表面包覆改性分为以及在芯片封装前。。等离子清洗技术在铝型材行业将发挥着越来越大效用: 现代化的高精度铜及合金铜带必须具有光亮、平滑、无污染、抗空气腐蚀等优良表面质量，以适应后续铜带镀、焊、冲等二次加工越来越严格的工艺要求。
与传统的湿法清洗工艺相比，表面包覆改性分为等离子清洗工艺干墙技术省水省化学品，省电节能，无污染； (2)在线生产效率，全机械自动化，加工速度快，工作效率高，成本低； (3) 不论被加工原料的种类，均可加工。可加工难成型且材料外层对称性好的原材料。该效果仅适用于纳米级处理。 ，可以赋予新的功能，同时保留原材料加工原有的特殊效果； (5)等离子清洗机加...
