氩气和氯气为主通过加人聚合物蚀刻气体或改变偏压的做法来实现对图形形态的控制，覆盖膜达因值要求是多少分别获得不同侧壁形貌的图形。这其中CH3F和氯气对形态的控制非常有效。而偏压和流量的调节则对底部形态控制起至关重要的作用。通过这些方法，锗的形态控制和关键尺寸调节可以被完成。。等离子蚀刻机在等离子体腐蚀过程中，通过特定时间气体，腐蚀性物质会变成气相(例如，使用氟气对硅进行腐蚀)。真空泵抽出气体和基质物质，表面连续覆盖新鲜气体。
主要过程包括:首先需要干净的工件进入真空室固定,启动真空泵和其他设备开始大约10 pa真空度的真空排气;然后介绍等离子体清洗气体进入真空室(根据不同的清洗材料,气体是不同的,如氧、氢、氩、氮、等),在真空室中，膜达因值与粘合性在电极与接地装置之间施加高频电压，将气体击穿并通过辉光放电使其电离，产生等离子体。待真空室中产生的等离子体完全覆盖被清洗工件后，开始清洗操作，清洗过程从几十秒到几分钟不等。
液晶显示屏模块粘合环节中，膜达因值与粘合性凭借 真空等离子清洗机 真空等离子清洗机，可以去除有机污染物。我们司空见惯的收音机、车载电脑、手机及笔记本电脑的屏幕，通常都是采用热压技术，覆盖一层柔性塑料薄膜或导电橡胶。这塑料薄膜构成线路板与由双层薄玻璃板构成的显示器面板之间的柔性连接。制造环节中的指印、氧化物、有机污染物及各种交叉污染物都会对生产过程产生明显影响，并降低相关膜与显示屏间的粘结力。
根据需要用等离子清洁...
