AR 和 H2 的混合气体可在等离子清洗机中使用数十秒，表面改性抗细菌粘附以去除铜引线框架上的氧化物和有机物。等离子清洗机可以达到改善表面性能和提高焊接、封装和键合可靠性的目的。等离子清洗机（PLASMA CLEANER）又称等离子刻蚀机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。
它不仅可以用来大大提高反应速率，请述钛及钛合金的表面改性还可以用来产生常温下不可能发生的化学反应。此外，热等离子体中的高温辐射可引起一些光电反应。。等离子体，即物质的第四态，是由部分电子剥夺后的原子和原子电离后库产生的正电子组成的电离气态物质。这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。可实现物体表面的超净清洗、表面活化、蚀刻、光整及等离子表面涂层。根据等离子体中粒子的不同，物体处理的原理也不同。
等离子处理器广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片分层、等离子涂层、等离子灰化、等离子活化和...