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而富含聚合物的蚀刻工艺,贵州在线式等离子清洗机多少钱趋向于减小保证接触孔的良好开通、控制高深宽比接触孔的侧壁形状和良好的尺寸均匀性的工艺窗口,而所有这些正是工艺整合为实现更为严格的 电性特征提出的对蚀刻工艺的要求。除此之外,光刻技术对于图形曝光需要厚度更薄的、更少未显影的光刻胶,这些要求又增加了接触孔蚀刻工艺对光刻胶的更高的选择性,来防止接触孔的圆整度变差。

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