1、激光表面改性的特点（贺州激光表面改性修复加工） 由于RB-SiC材料具有许多优异的性能，激光表面改性的特点为材料的表面光学质量提出了一个更强的标准。SiC的加工方法有电化学刻蚀、机械加工、超声加工、激光刻蚀、等离子体刻蚀等。化学离子刻蚀(RIE)、电子器件回旋共振(ECR)和电感耦合等离子体(ICP)是等离子体发生器中的一种。ICP刻蚀装置具有选...
