等离子清洗机原理是两个电极之间形成高频交变电场,用真空泵在装置的密闭容器中实现一定的真空度随着气体越来越稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体。经常有客户碰到等离子清洗机不辉光的情况,下面一起来了解下等离子清洗机不辉光的可能原因及其解决办法。
等离子清洗机不发(辉)光可能原因如下:
1、真空泵是否正常运行,真空泵损坏导致真空腔体压力下不去;
1、射频电源主板烧坏;
2、电容不匹配,反射功率过大
3、电极板差错,正负极差错也会导致设备不发光
4、电极板镀金插头断裂,接触不良松动。
5、匹配器损坏
6、控制方式设置有误
7、负极回路接触不良
8、真空腔体密封泄露,真空度达不到辉光条件
等离子清洗机不发(辉)光解决措施:
1、真空泵是否正常工作,查看真空压力表值是否达到正常压力值;如不能达到正常压强,则代表气路有漏气需重新检查气路是否固定好。
2、打开设备右侧面板,检查射频电源主板绿色灯在设备正常运行下是否亮,如果不亮,请联系售后人员进行更换。
3、射频电源主板烧坏,联系厂家进行射频电源维修。
4、电容不匹配,反射功率过大调整匹配点至反射功率小于10KW。
5、电极板差错,可以重新调整正负电极顺序。
6、电极头断裂,更换换电极头,电极头属于易损件,要定期检查。
7、匹配器损坏,更换匹配器。
8、控制方式设置有误,重新设置控制方式。
9、负极回路接触不良,重新固定负极回路连接板。24655