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达因值判定是否允许收缩

2.在4000瓦和300毫托条件下生成氧等离子体15分钟3.在4000瓦和250毫托条件下生成氧等离子体15分钟4.泵室第二次减少到最低可以达到的压力并且记录数据,达因笔的测试值比较这个值和第一个值,一个显著减少在两比较之间则暗示清洁室发生了故障在等离子机运行工作时。5.重复这个过程,直到没有明显区别是指出最低基地压力从一个测试值到下一个。

达因笔的测试值

2.在4000瓦和300毫托下产生15分钟的氧等离子体3.在4000瓦和250毫托下产生15分钟的氧等离子体4.泵室第二次降低到可达到的最低压力并记录数据。此值与第一个值进行比较。两个比较之间的显著减少表明当等离子机运行时清洁室已经失效。5.重复这个过程,达因笔的测试值直到从一个测试值到下一个测试值的最小基础压力没有明显的差异。注:使用CF4或类似气体会导致涂覆室及其部件与这些气体产生副产物。

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