用等离子清洗机冲击待粘合的聚四氟乙烯表面后,金属附着力其表面活性大大提高,金属附着力牢固可靠,符合工艺要求,另一面保持原有性能提高。等离子清洗机又称等离子蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理器广泛应用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶片分层、等离子涂层、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理。
通过等离子体中的高能量粒子,金属附着力脏污会转化为稳定的小型分子,并借此将其移除。脏污的厚度只允许达到几百纳米,因为等离子的清除速度仅能够达到每次几nm。脂肪含有诸如锂化合物之类的成分。仅能够除去其有机成分。这一点同样适用于指纹。故此,建议戴手套;2.还原氧化物:金属氧化物会和工艺气体发生化学反应。作为工艺气体,使用了氢气和氩气或氮气的混合物。等离子体射流的热效应可能会导致进一步的氧化。故此建议在惰性气体环境下进行处理。
等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,金属附着力均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至...