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1.等离子清洗设备的PECVD工艺 PECVD等离子增强化学气相沉积通常是将两种或两种以上的工艺气体在等离子体状态下反应,固体亲水性生成新的固体物质,在材料基板上形成一层薄膜物质,这项工艺目前已在光学膜的制备等方面都有广泛应用。

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多层陶瓷壳体的等离子清洗研究:多层陶瓷壳体是由多层金属化陶瓷、母材和金属部件用Ag72Cu28焊料钎焊而成。在电镀工艺前,有仪器测定固体亲水性吗外壳表面不可避免地形成各种污染,包括微尘、固体颗粒、有机物等,而由于自然氧化,存在氧化层。电镀前必须将电镀件表面清洗干净,否则会影响涂层与基材之间的结合力,导致涂层剥落、起泡。

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