在真空和瞬时高温状态下，部分区域面漆发软附着力差活性等离子对孔壁内钻污、残胶及油污等污染物进行物理轰击与化学反应双重作用，污染物部分蒸发或在高能量离子的冲击下被击碎，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。
在引线接合工艺中，部分区域面漆发软附着力差使用等离子技术，可以非常高效地预处理一些敏感易损的零部件，比如硅晶片、LCD显示器，或者集成电路(IC)等。。等离子，即物质的第四态，是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。这种电离气体是由原子，分子，原子团，离子，电子组成。其作用在物体表面可以实现物体的等离子表面处理清洗、物体表面活化、蚀刻 、精整以及等离子表面涂覆。
当样品放入反应室时，部分区域面漆发软附着力差真空泵启动真空泵到一定程度，接通电源产生等离子体，气体通过反应室内的等离子体进入反应室，样品与volatile 产生的副产品。它由真空泵提取。真空等离子清洗机中的等离子在宏观水平上是电中性的。在正常情况下，等离子体是电中性的，但如果受到任何干扰，等离子体中的部分电荷就会分离出来，从而产生电场。
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