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微波放电有两种方式,钢结构附着力是多少表面波型和电子回旋共振型,一般用于清洗工业用微波,微波的工作方式是通过辐射微波电磁场直接将气体击穿而实现放电,显然不存在离子加速现象,因此其电子密度较高,但一般要求放电气压高。但高气压放电带来的问题是等离子体局域化严重,深度清洗较差,也不利于多层面的大规模清洗处理,此外,微波电磁场对电子元件多多少少会产生电磁辐射,有可能导致元件击穿损伤。

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