立轴罗茨真空泵:罗茨真空泵有两个转子轴垂直于水平面安装。以上是低压真空等离子清洗设备所使用的罗茨真空泵的工作原理和分类。如果您想了解更多关于等离子设备的详细内容，什么漆附着力最强或者对设备的使用有疑问，欢迎点击在线客户服务咨询，欢迎您的来电!。真空等离子体清洗设备在半导体封装领域的应用，可以说有六个方面:由于等离子体不是液体、固体或气体，所以可以称之为“第四种状态”。等离子体以离子和电子的形式存在。
我国等离子体电源主要有两种，什么漆附着力最强13.56khz射频电源和40khz中频电源，其他电源很少使用。射频等离子体功率软而细，温度低，最大功率可达2kW，用于处理一些精细的材料非常合适。中频等离子体正好相反。等离子体没有那么致密，但强度强、温度高、功率大。通常用于蚀刻和去除胶渣。
外置真空泵吸入时间短，什么漆附着力最强清洗能力可达分子级。在一定条件下，样品的表面性质也会发生变化。该方法以气体为清洗介质，可有效避免样品的再污染。在摆脱国外等离子清洗机价格昂贵、无法上市推广等缺陷的基础上，结合国内用户需求，借鉴国内外现有等离子设备的优点，采用先进技术手段开发出新型系列
