PID不仅具有快速快速的比例效应，铁氟龙附着力参数而且还具有先进的积分效应误差消除和微分效应的先进调节。如果出现错误步骤，导数将立即工作以抑制这种错误反弹。该比率还具有清除错误的作用。以及减少错误的效果。比例效应是长期的、占主导地位的控制规律，可以使内腔的真空度更加稳定。积分效应逐渐消除误差。适当调整这三个功能的主要控制参数，可以让您灵活地利用这三个控制规律来获得建议控制的实际效果。
功能强:只涉及高分子材料(10-0A)的浅层表面，铁氟龙附着力参数在保持材料自身特性的同时，可赋予一种或多种新的功能;成本低:设备简单，操作维护方便，连续操作，往往几瓶气体就可以替代数千公斤的清洗液，因此清洗成本将大大低于湿法清洗。全过程可控:所有参数均可电脑设定及记录，进行工艺质量控制。不限几何形状的加工:大的或小的，简单的或复杂的，零件或纺织品，均可加工。
等离子体刻蚀机主要是利用射频等离子体源（或微波离子源）激发反应气体等气体离子对目标物体进行物理轰击，铁氟龙附着力参数以达到去除指定物质的手段。由于对反作用力要求较大，等离子体刻蚀机基本采用RF射频等离子体产生方式。同理，如果控制等离子体源功率等相关参数，可以降低反作用力，从而对一般电子元件进行清洗去除污染物。从这个角色，他们可以分享。但在半导体生产过程中，蚀刻和清洗往往是分开的，不共用同一套设备。
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