这有效地保证了光刻分割工艺在沟槽侧壁和底部没有氮化钛残留物，铜掺杂二氧化钛的表面改性但也会产生斜布。 -横截面形状和损失等严重的CD副作用；等离子清洗机除上述等离子表面处理机的蚀刻后切割方法存在的问题外，侧壁上还有氮化钛甚至氧化硅残留物。随着蚀刻的延长，随着时间的推移，上述残留物会被去除，但氮化钛的顶部会被严重损坏。
”通过这一技术烧制的石墨烯固体材料孔隙度达到了近 50%，铜掺杂二氧化钛的表面改性密度仅为石墨的一半和钛的四分之一，但其抗压强度却有 40 兆帕，足以用作骨植入材料。石墨烯片之间的连接力足以保证材料不会在水中解体。研究人员们还可以通过改变电压来控制这一材料的密度。他们在室温条件下做了一系列试验，尝试 200 到 400 摄氏度的烧结温度，结果显示烧结温度在 300 摄氏度时获得的材料性能最好。
这有效地保证了光刻分割工艺在沟槽侧壁和底部没有氮化钛残留物，铜掺杂二氧化钛的表面改性但也会产生斜布。 -横截面形状和损失等严重的CD副作用；等离子清洗机除上述等离子表面处理机的蚀刻后切割方法存在的问题...