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铜片等离子体清洁设备

待清洗的晶圆置于真空等离子脱胶机的反应系统中,铜片等离子体除胶机在高频和微波能量的影响下,电离产生氧离子、游离氧原子、氧分子和电子的混合物,形成辉光专栏...具有强氧化能力的游离氧原子在高频电压的作用下与光刻胶膜发生反应,最终完成。等离子脱胶机的优点是使用比较方便,脱胶率高,表面干净,无划痕,成本低,环保。本章原创。转载请注明网址:。

铜片等离子体除胶机

在引线键合工艺中,铜片等离子体除胶机等离子清洗机非常有效地预处理敏感和易碎的组件,例如硅晶片、LCD 显示器和集成电路 (IC),而不会损坏这些产品。等离子清洗机也称为等离子。蚀刻机、等离子脱胶机、等离子活化剂、等离子清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子加工机广泛用于等离子清洗、等离子蚀刻、等离子晶圆剥离、等离子镀膜、等离子灰化、等离子活化、等离子表面处理等。同时强制去除有机污染物、油或油脂。

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