根据等离子体的不同，铝氧化处理尺寸变化反应会有所不同，有时只是对材料表面的物理变化;高能粒子轰击材料表面，在材料表面产生不均匀的斑点，改变其粗糙度，或将能量转移到表面基团上激活它们，造成表面能的变化。有时材料表面会发生化学反应，引入新的含氧基团或改变表面原有基团的性质，改变材料表面的化学成分，从而达到等离子体表面改性的目的。
2、前后的空气的方式有助于提高uniformityIn之外,对一些设备与大型腔体积,进气结构需要更改和调整,当然,这些变化和调整需要决定根据特定的空腔的尺寸和结构,如下图所示是其中一个结构:。真空等离子体机介绍了等离子体处理室的类型和结构:介绍了脉冲电场等离子体处理装置的基本原理、典型型号和影响因素，铝氧化处理尺寸变化指出了脉冲电场等离子体的性能对处理效果有很大的影响。然后介绍了脉冲电场真空等离子体室的主要类型和结构。
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