在集成电路的生产中,属于亲水性材料的是每一个电路可能有1000多处连接点,金属镀层的连接处经常出现连接不紧密的问题,此外,加工的过程中会产生有机污染物,对加工效果产生影响。等离子体清洗可以有效的去除有机污染物,同时对材料表面活化作用增强了连接线与基体的有效粘结。常压等离子体清洗常压等离子体属于低温等离子体的一种,能够在大气压下产生温度在25—40摄氏度之间的、具有高活性粒子。
大气等离子清洗机清洗特点:1、数控技术使用方便,属于亲水性材料的是自动化程度高;控制装置精度高,时间控制精度高;一个是等离子体清洗后干燥清洁对象,可以改善整个过程线的处理效率;等离子体清洗可以保护用户免受有害的有机溶剂,并避免容易损坏的问题在湿洗干净的对象;不要选择甲基萘和其他危险ODS的有机溶剂,即清洗后容易形成有害物质,所以这种清洗方法属于环保、绿色清洗的方式。世界各国越来越重视环境保护。
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