1、横向附着力最大(横向附着力和横向摩阻力)抱死后横向附着力 通过改变等离子清洗机的等离子特性、腔侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、影响输出结果的侧翘和等离子损伤例如临界尺寸。通过调整等离子体内部和晶圆表面上发生的化学和物理反应过程,横向附着力和横向摩阻力它可以调整对优化蚀刻结果很重要的等离子体特性。电子能...
2、阻力与附着力(阻力与附着力的关系是什么)滚动阻力与附着力 因此,滚动阻力与附着力在对定型机废气进行处理的项目中,需要先对废气进行预处理,以有效降低温度,再通过低温等离子废气处理装置降低下一个处理工段的处理负荷。 ,提高了整个系统的净化效率。边界层,低温等离子废气处理设备在废气管道活动过程中与空气挡板表面形成边界层。定型机废气在内部运动时,废气中的烟灰颗粒聚...
3、路面附着力和阻力(什么情况路面附着力会变大) 3.真空度的选择:适当提高真空度可以使电子运动的平均自由程变大,什么情况路面附着力会变大因此从电场中获得的能量大,有利于电离。其他时氧气流量会准时,真空度越高,氧气的相对份额越大,产生的活性颗粒浓度也就越大。但是,如果真空度过高,活性颗粒的浓度会下降。。等离子清洗机选用的非反应气体效果机理等离子清洗...