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放电气压可以在小于1Pa到数倍大气压(105Pa)之间。等离子体发生器常常运用交变电源驱动放电,漆膜附着力高低温交变其频率规模在1 MHz到200 MHz之间。这个频率规模归于射频波段,射频波段是特别有意义的。关于低频端的射频放电,除了重离子外,等离子体中的其它各种粒子的运动均可以跟上射频电磁场的改变;而关于高频端的射频放电,等离子体中只要电子可以呼应射频电磁场的改变,离子因为惯性较大,只能呼应时间均匀的电场。

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等离子体清洗设备的原理是在真空的条件下,漆膜附着力提升方法压力越来越小,分子之间的间距越来越大,分子间的力越来越小,利用高压交变电场产生的射频(rf)功率来输送氧气、氩气、氢气湍流化成具有高反应活性和高能量的离子,然后与有机污染物和微颗粒污染形成挥发性物质或碰撞,这些挥发性物质再通过工作气流和真空泵去除,实现清洁表面活化。

等离子体处理原理:以一组电极在射频电源上,漆膜附着力高低温交变形成高频交变电场,在交变电场的发酵下,电极间形成气体区域,形成等离子体,而等离子体的活性则是对表面进行物理轰击和化学反应的双重作用,使表面被清洗的物质变成颗粒和气态物质,经过真空放电,从而达到表面处理的目的。等离子体技术的应用:通过等离子体轰击物体表面,可达到对物体表面进行刻蚀、活化和清洗的目的。

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