Maezono和Chang采用直流电晕和高频放电方式成功地降低了燃烧气中CO2浓度，怎样降低可剥树脂附着力CO2转化为CO和O2；李明伟等在电晕放电条件下，实现了CO2直接分解，在放电功率40W、CO2流速30m/min时，CO2分解率15.2%；代斌等在脉冲电晕plasma等离子体气氛下考察了纯CO2转化反应，结果表明：其裂解反应的主要产物是CO和O2(也有少量O3和C生成)，CO的选择性在70%以上。
13.56MHz等离子体电场中的频率振荡较高，降低可剥涂料附着力相对于40KHz射频等离子而言电子在转变方向之前的运动距离更短。这意味着在每个运动周期中能够到达器件表面的粒子数量更少，因此表面受到粒子撞击减少，从而降低了清洗的效率和效果，直接影响产品质量和产量。40KHz射频等离子体是最广泛使用和通用性好的等离子体技术，它应用于半导体、微电子、医疗和通用工业的宽广领域内。
真空泵运行时电磁真空带充气阀打开，怎样降低可剥树脂附着力真空泵关闭时阀门线圈关闭，阀门机械关闭。它的主要作用是防止油气。防止真空泵内部被真空室内的负压吸回。电磁真空带式充气阀安装方便，但稳定性相对较差。长时间使用，阀门的磁力会降低，复位弹簧的反应会变慢。大多数现在用于实验性真空吸尘器。 (3) 手动高真空角阀真空等离子清洗机中使用的手动高真空角阀通常为定制型，主要用于手动控制真空回路的开/关和关闭压力等。
