该装置的设备成本不高,陶瓷plasma蚀刻机整体成本低于传统的湿法清洗工艺,因为该清洗工艺不需要使用更昂贵的有机溶剂;https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png3)https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png型腔容量可定制它具有高良率的特性,因为使用批处理和等离子清洗可以在几分钟内完成整个清洗过程;https://www.jinlaiplasma.com/asse/jinlai/chanpin/dengliziqingxiji00030.png4)无论被加工的材料种类如何,都具有广泛的适用性。金属材料、半导体器件、氧化物、玻璃、陶瓷和大多数聚合物材料可以在粘合、焊接和喷涂之前进行等离子体预处理,以获得完全清洁、无氧化物的表面。