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单晶片级等离子清洗机和 3D 芯片封装应用的理想选择。等离子应用包括除灰、灰化/光腐蚀/聚合物剥离、介电蚀刻、晶圆凸块、有机物去除和晶圆脱模。等离子清洗机的作用是快速清洗材料表面的有机和无机污渍,雨天附着力小什么意思增加渗透性,显着改变粘合强度和焊接强度,去除残留物。离子过程易于控制并且可以安全地重复。有效的表面处理对于提高产品可靠性和工艺效率极为重要。等离子清洗机也是一种理想的等离子表面改性材料工艺。

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