把充足的能量加到气体上，附着力大于行驶阻力使其离化便变成等离子状态。等离子体的活性物质涵盖：离子、电子、活基、核素激发态(亚稳态)、光子等。等离子体清洗机在清洗高聚物方面起到了极其重要的作用：1、高聚物表面的重组：在等离子刻蚀机清洗过程中使用的惰性气体会损坏高聚物表面的离子键，从而产生高聚物表面自由官能团。
聚合物中的聚合物化学键被分离成小分子，附着力大于行驶阻力这些小分子被汽化并从入口真空泵中排出。同时，经过氩等离子清洗后，可以改变材料表面的微观形貌，使材料在分子范围内粗化，表面活性和结合性能显着提高。氩等离子体的优点是它可以清洁材料表面而不会留下任何氧化物质。缺点是可能会在其他不需要的区域发生过度腐蚀或污染颗粒的重新积累，但这些缺点可以通过微调工艺参数来控制。。
等离子处理机技术在橡塑行业产品上的作用机理等离子处理机和固体、液体或气体一样，附着力大于行驶阻力是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
轰击材料表面的离子能量是材料表面改性的一个主要工艺参数，附着力大于行驶阻力这个能量可以轻易地增加到小分子及固体原子结合能的数千倍。正是低温等离子体的这种非热力学平衡现象，带来了等离子体处理技术的多样性，这种多样性可以从高分子材料的表面活化一直到半导体离子注入等一系列应用中看出。等离子体处理技术在很多制造业中得到应用，特别是在汽车、航空及生物医用部件的表面处理方面。
