从目前处理室的类型来看，飞顿plasma机器价格常用的处理室有板式、同轴和同场三种。真空等离子体机的腔体主要采用板式加工腔体，常用于间歇操作，将样品提前放入加工腔体中，而PEF等离子体加工，这种方法主要用于少量样品的理论研究，价格昂贵，后期处理室逐渐发展为流处理，即处理样品经进给泵进入处理室，再经PEF等离子脉冲处理，然后流出处理室;处理后的样品进出处理室一步完成PEF电离处理。
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